20世紀60年代初，變壓吸附制氮裝置實現了工業化生產。在此之前，低溫蒸餾(深冷法)主要用于傳統的工業空氣分離工廠。自20世紀80年代以來，它已經通過了CaX和LiX與低溫空氣分離廠相比，其他具有吸附分離性能的沸石分子篩技術得到了快速發展，PSA啟動時間短，停車方便，能耗低，自動化程度高，維護方便。中小型(100噸/天以下)不需要高純氧Nm3/h)在氧氣生產中，比極冷法更具競爭力。變壓吸附制氮機裝置廣泛應用于電爐煉鋼、有色金屬冶煉、玻璃加工、甲醇生產、炭黑生產、化肥氣體生產、化學氧化工藝、紙漿漂白、污水處理、生物發酵、水產養殖、醫療、軍事等領域。40多年來，變壓吸附空分制氧技術的研究進展主要體現在兩個方面：作為空分制氧吸附劑和吸附理論的研究，其次是空分制氧工藝循環的研究。
雖然國內對這項技術的研究起步很快，但長期以來發展緩慢。20世紀90年代，變壓吸附制氧設備的優勢逐漸得到認可。近年來，各種工藝設備相繼投產，給各行業帶來了巨大的經濟效益。變壓吸附制氮裝置的變壓吸附方法是什么？
吸附分離利用吸附劑只分離特定氣體吸附和分析能力的差異。為了促進這一過程，常用的壓力法和真空法。利用分子壓力吸附分離空氣制造氧氣的機器之一是利用分子篩分離氧氣和氮氣的吸附親和力大于氧氣的吸附親和力。其次，在碳分子篩微孔系統的狹縫中，氧的擴散速度快于氮的擴散速度，因此氧氮可以在偏離平衡的狀態下分離。
變壓吸附氧在室溫下進行。其工藝包括壓力吸附/常壓分析或常壓吸附/真空分析，通常采用沸石分子篩氧和碳分子篩氮。20世紀90年代，中國PSA/VPSA氧氣制造設備逐漸系列化。近年來，鋰基分子篩的性能更加穩定高效，得到了越來越多的大規模應用，實現了單變壓器吸附裝置的大規模生產，產量高達40700m3/h，氧氣純度90%。
